Bộ điều khiển và đo lưu lượng khối lượng nhiệt – đệm kín bằng kim loại - Brooks Instruments Vietnam

Dùng cho dòng chảy có độ tinh khiết cao nhất , chính xác cao và kiểm soát không nhiễm tạp chất

Nhiều quy trình sản xuất các thiết bị điện tử tân tiến thời nay đòi hỏi sự đo lường và kiểm soát cực kỳ chính xác và có độ lặp lại cao đối với các chất khí siêu tinh khiết và tiền chất lỏng . Brooks Instrument đáp ứng những nhu cầu đó với bộ điều khiển và đo lưu lượng khối lượng nhiệt – đệm kín bằng kim loại. Kiểm soát hóa học chính xác được thông qua bởi sự kết hợp của cảm biến đo siêu ổn định, độ chính xác cao, van điều khiển chính xác nhanh và thiết bị điện tử kỹ thuật số mạnh mẽ. Độ tinh khiết của quá trình hóa học được đảm bảo bởi đường dẫn dòng chảy mạ thiếc hoàn toàn bằng kim loại, siêu tinh khiết và hoàn toàn kín, được thiết kế để giữ các tạp chất bên ngoài như độ ẩm và oxy không xâm nhập làm hỏng môi trường hoạt động.

Ứng dụng chính:

• Quy trình chế tạo thiết bị bán dẫn silicon - Etch, Strip, CVD, ALD, PVD, Epi, Diffusion, Implant và RTP
• Quy trình chế tạo thiết bị bán dẫn hợp chất - MOCVD
• Lớp phủ bề mặt được thiết kế chính xác
• Hệ thống phân tích
• Ứng dụng quy trình chân không

Đặc tính:

• Đối với các quy trình nhạy cảm với độ ẩm hoặc oxy
• Đường dẫn dòng có độ tinh khiết cao giảm thiểu nhiễm bẩn, nâng cao năng suất
• Thời gian phản hồi cực nhanh

Mã sản phẩm:

• Dòng GF125  : Mã GF125 / GF126
• GF100 Dòng EtherCAT: Models GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126
• GF100 Dòng: Mã GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121
• GF80 Dòng: Mã GF80
• 5850EM Dòng: Models 5850EM / 5851EM

Highest-purity flow path. Ultra-precise, contaminant-free control.

Many of today’s advanced electronic device fabrication processes require extremely accurate and highly repeatable measurement and control of expensive ultra-pure gases and liquid precursors. Brooks Instrument meets those needs with our game-changing metal sealed thermal mass flow controllers and meters. Precise chemistry control is achieved through the combination of ultra-stable, highly accurate measurement sensors, fast precision control valves and powerful digital electronics. Purity of the process chemistry is ensured by our high-integrity (leak tight), ultra-high purity, all-metal wetted flow path, designed to keep outside contaminants like moisture and oxygen from corrupting the process media.

KEY APPLICATIONS

• Silicon semiconductor device fabrication processes – Etch, Strip, CVD, ALD, PVD, Epi, Diffusion, Implant and RTP
• Compound semiconductor device fabrication processes – MOCVD
• Precision engineered surface coatings
• Analytical systems
• Vacuum processes applications

KEY FEATURES

• For processes sensitive to moisture or oxygen
• High purity flow path minimizes process contamination, enhances yield
• Ultra-fast response time

PRODUCT CODE:

• GF125 Series   : Models GF125 / GF126
• GF100 Series EtherCAT: Models GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126
• GF100 Series: Models GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121
• GF80 Series: Models GF80
• 5850EM Series: Models 5850EM / 5851EM

Xem catalogue sản phẩm tại đây: