Bộ điều khiển và đo lưu lượng khối lượng nhiệt chịu được nhiệt độ cao - Brooks Instrument Vietnam
Dùng cho ứng dung dòng chảy có độ tinh khiết cao nhất và nhiệt độ cao.
Nhiều quy trình sản xuất các thiết bị điện tử tân tiến thời nay đòi hỏi sự đo lường và kiểm soát cực kỳ chính xác và có độ lặp lại cao đối với các chất khí siêu tinh khiết và tiền chất lỏng đắt tiền . Brooks Instrument đáp ứng những nhu cầu đó với bộ điều khiển và đo lưu lượng khối lượng nhiệt – đệm kín bằng kim loại- chịu nhiệt độ cao. Kiểm soát hóa học chính xác được thông qua bởi sự kết hợp của cảm biến đo siêu ổn định, độ chính xác cao, van điều khiển chính xác nhanh và thiết bị điện tử kỹ thuật số mạnh mẽ. Độ tinh khiết của quá trình hóa học được đảm bảo bởi đường dẫn dòng chảy mạ thiếc hoàn toàn bằng kim loại, siêu tinh khiết và hoàn toàn kín, được thiết kế để giữ các tạp chất bên ngoài như độ ẩm và oxy không xâm nhập làm hỏng môi trường hoạt động.
Ứng dụng chính:
-
Sản xuất sợi quang cho lưu lượng kế nhiệt độ cao - MCVD
-
Quy trình chế tạo thiết bị bán dẫn silicon
-
CVD (phân phối tiền chất ở dạng hơi)
-
Dải (hơi nước)
-
Etch (hơi nước để thụ động))
Đặc tính chính
-
Nhiệt độ hoạt động cao nhất (1500C)
-
Độ chính xác cao - SP ± 1% và độ lặp lại
-
Kết cấu siêu tinh khiết
THÔNG TIN SẢN PHẨM :
|
Dòng sản phẩm
|
5850EMH
|
9861
|
|
Mã
|
5850EMH / 5851EMH
|
C9861/ M9681
|
|
Loại sản phẩm
|
Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng
|
Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng
|
|
Sự khác biệt
|
Phạm vi dòng chảy cao nhất
Công nghệ đáng tin cậy đã được kiểm chứng
|
Độ chính xác dòng chảy cao nhất
Nhiệt độ hoạt động cao nhất
Giao tiếp truyền thông kỹ thuật số
|
|
Thang đo (Mức tối đa)
|
100 slm (tương đương N2)
|
100 slm (tương đương N2)
|
|
Chất liệu bên ngoài
|
Kim Loại
|
Kim Loại
|
|
Mức độ tinh khiết / hoàn thiện bề mặt
|
—
|
4 μ inch Ra
|
|
Độ chính xác
|
1% of FS
|
1% of SP@ 35 - 100% FS
0.35% of FS @ <35% FS
|
|
Độ lăp lại
|
<±0.25% SP
|
<±0.15% FS
|
|
Thời gian phản hồi
|
<3 giây đến trong vòng 2% SP (mỗi SEMI E17-91)
|
<1 giây đến trong khoảng 2% SP (mỗi SEMI E17-91)
|
|
Áp lực tối đa
|
1 MPa (145 psi)
|
620 kPa (90 psi)
|
|
Nhiệt độ tối đa
|
105oC
|
150oC
|
|
Khả năng chuẩn đoán
|
—
|
—
|
|
Liên kết chuẩn đoán
|
0-5 Vdc
|
0-5 Vdc
|
|
Liên kết kỹ thuật số
|
—
|
RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)
|
Highest-purity flow path for challenging high-temperature applications.
Many of today’s advanced electronic device fabrication processes require extremely accurate and highly repeatable measurement and control of expensive ultra-pure gases and liquid precursors. Brooks Instrument meets those needs with our high temperature metal sealed thermal mass flow meters and controllers. Precise chemistry control is achieved through the combination of ultra-stable, highly accurate measurement sensors, fast precision control valves and powerful digital electronics. Purity of the process chemistry is ensured by our high-integrity (leak tight), ultra-high purity, all-metal wetted flow path, designed to keep outside contaminants like moisture and oxygen from corrupting the process media.
KEY APPLICATIONS
-
Optical fiber manufacturing for high temperature flow meters - MCVD
-
Silicon semiconductor device fabrication processes
-
CVD (precursor delivery in vapor form)
-
Strip (water vapor)
-
Etch (water vapor for passivation)
KEY FEATURES
-
Highest operating temperature (1500C)
-
High accuracy - SP ±1% and repeatability
-
Ultra-high purity construction
THÔNG TIN SẢN PHẨM :
|
Product Series
|
5850EMH
|
9861
|
|
Models
|
5850EMH / 5851EMH
|
C9861/ M9681
|
|
Product Type
|
Mass Flow Controller
|
Mass Flow Controller
|
|
Differentiator
|
Highest Flow Range
Proven, reliable technology
|
Highest Flow Accuracy
Highest Operating Temperature
Digital Communication
|
|
Flow Range (Full Scale Capacity)
|
100 slm (N2 equivalent)
|
10 slm (N2 equivalent)
|
|
Seal Material
|
Metal
|
Metal
|
|
Level of Purity / Surface Finish
|
—
|
4 μ inch Ra
|
|
Accuracy
|
1% of FS
|
1% of SP@ 35 - 100% FS
0.35% of FS @ <35% FS
|
|
Repeatability
|
<±0.25% SP
|
<±0.15% FS
|
|
Response Time
|
<3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)
|
<1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)
|
|
Max Pressure
|
1 MPa (145 psi)
|
620 kPa (90 psi)
|
|
Max Temperature
|
105oC
|
150oC
|
|
Diagnostic Capability
|
—
|
—
|
|
Analog Communication
|
0-5 Vdc
|
0-5 Vdc
|
|
Digital Communication
|
—
|
RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)
|
Xem catalogue sản phẩm tại đây: