Chúng tôi rất tiếc, website không hỗ trợ trình duyệt của bạn.
Để sử dụng hết các tính năng mới, bạn vui lòng sử dụng 1 trong các trình duyệt dưới đây:
  • Internet Explorer 9 (Download)
  • Firefox (Download)
  • Chrome (Download)

    Chào mừng quý khách đến với Brooks Instrument Vietnam

    0168.568.5705

    Price list

    Bộ điều khiển và đo lưu lượng khối lượng nhiệt chịu được nhiệt độ cao - Brooks Instrument Vietnam 

    Đăng bởiMs. Hân

    Bộ điều khiển và đo lưu lượng khối lượng nhiệt chịu được nhiệt độ cao - Brooks Instrument Vietnam

     

    Dùng cho ứng dung dòng chảy có độ tinh khiết cao nhất và nhiệt độ cao.

    Nhiều quy trình sản xuất các thiết bị điện tử tân tiến thời nay đòi hỏi sự đo lường và kiểm soát cực kỳ chính xác và có độ lặp lại cao đối với các chất khí siêu tinh khiết và tiền chất lỏng đắt tiền . Brooks Instrument đáp ứng những nhu cầu đó với bộ điều khiển và đo lưu lượng khối lượng nhiệt – đệm kín bằng kim loại- chịu nhiệt độ cao. Kiểm soát hóa học chính xác được thông qua bởi sự kết hợp của cảm biến đo siêu ổn định, độ chính xác cao, van điều khiển chính xác nhanh và thiết bị điện tử kỹ thuật số mạnh mẽ. Độ tinh khiết của quá trình hóa học được đảm bảo bởi đường dẫn dòng chảy mạ thiếc hoàn toàn bằng kim loại, siêu tinh khiết và hoàn toàn kín, được thiết kế để giữ các tạp chất bên ngoài như độ ẩm và oxy không xâm nhập làm hỏng môi trường hoạt động.

     

    Ứng dụng chính:

    • Sản xuất sợi quang cho lưu lượng kế nhiệt độ cao - MCVD
    • Quy trình chế tạo thiết bị bán dẫn silicon
    • CVD (phân phối tiền chất ở dạng hơi)
    • Dải (hơi nước)
    • Etch (hơi nước để thụ động))

    Đặc tính chính

    • Nhiệt độ hoạt động cao nhất (1500C)
    • Độ chính xác cao - SP ± 1% và độ lặp lại
    • Kết cấu siêu tinh khiết

    THÔNG TIN SẢN PHẨM :

    Dòng sản phẩm

    5850EMH

    9861

    5850EMH / 5851EMH

    C9861/ M9681

    Loại sản phẩm

    Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng

    Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng

    Sự khác biệt

    Phạm vi dòng chảy cao nhất

    Công nghệ đáng tin cậy đã được kiểm chứng

    Độ chính xác dòng chảy cao nhất

    Nhiệt độ hoạt động cao nhất

    Giao tiếp truyền thông kỹ thuật số

    Thang đo (Mức tối đa)

    100 slm (tương đương N2)

    100 slm (tương đương N2)

    Chất liệu bên ngoài

    Kim Loại

    Kim Loại

    Mức độ tinh khiết / hoàn thiện bề mặt

    4 μ inch Ra

    Độ chính xác

    1% of FS

    1% of SP@ 35 - 100% FS

    0.35% of FS @ <35% FS

    Độ lăp lại

    <±0.25% SP

    <±0.15% FS

    Thời gian phản hồi

    <3 giây đến trong vòng 2% SP (mỗi SEMI E17-91)

    <1 giây đến trong khoảng 2% SP (mỗi SEMI E17-91)

    Áp lực tối đa

    1 MPa (145 psi)

    620 kPa (90 psi)

    Nhiệt độ tối đa

    105oC

    150oC

    Khả năng chuẩn đoán

    Liên kết chuẩn đoán

    0-5 Vdc

    0-5 Vdc

    Liên kết kỹ thuật số

    RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)

     

    Highest-purity flow path for challenging high-temperature applications.

    Many of today’s advanced electronic device fabrication processes require extremely accurate and highly repeatable measurement and control of expensive ultra-pure gases and liquid precursors.  Brooks Instrument meets those needs with our high temperature metal sealed thermal mass flow meters and controllers. Precise chemistry control is achieved through the combination of ultra-stable, highly accurate measurement sensors, fast precision control valves and powerful digital electronics. Purity of the process chemistry is ensured by our high-integrity (leak tight), ultra-high purity, all-metal wetted flow path, designed to keep outside contaminants like moisture and oxygen from corrupting the process media.

    KEY APPLICATIONS

    • Optical fiber manufacturing for high temperature flow meters - MCVD
    • Silicon semiconductor device fabrication processes
      • CVD (precursor delivery in vapor form)
      • Strip (water vapor)
      • Etch (water vapor for passivation)

    KEY FEATURES

    • Highest operating temperature (1500C)
    • High accuracy - SP ±1% and repeatability
    • Ultra-high purity construction

     

    THÔNG TIN SẢN PHẨM :

    Product Series

    5850EMH

    9861

    Models

    5850EMH / 5851EMH

    C9861/ M9681

    Product Type

    Mass Flow Controller

    Mass Flow Controller

    Differentiator

    Highest Flow Range

    Proven, reliable technology

    Highest Flow Accuracy

    Highest Operating Temperature

    Digital Communication

    Flow Range (Full Scale Capacity)

    100 slm (N2 equivalent)

    10 slm (N2 equivalent)

    Seal Material

    Metal

    Metal

    Level of Purity / Surface Finish

    4 μ inch Ra

    Accuracy

    1% of FS

    1% of SP@ 35 - 100% FS

    0.35% of FS @ <35% FS

    Repeatability

    <±0.25% SP

    <±0.15% FS

    Response Time

    <3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

    <1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

    Max Pressure

    1 MPa (145 psi)

    620 kPa (90 psi)

    Max Temperature

    105oC

    150oC

    Diagnostic Capability

    Analog Communication

    0-5 Vdc

    0-5 Vdc

    Digital Communication

    RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)

     

    Xem catalogue sản phẩm tại đây:

    ANS Vietnam (Anh Nghi Son Service Trading Co., Ltd.)
    Add: D3, KDC Mieu Noi, Dinh Tien Hoang St., W.3, Binh Thanh Dist., HCMC, Vietnam
    Tel: 028 3517 0401 - 028 3517 0402 - Fax: 028 3517 0403 - HotLine: 0911 47 22 55
    Email:  support@ansgroup.asia;
    Website: anhnghison.com