Module phân phối hơi Brook VDM300 - Brooks Instruments Vietnam 

Mô-đun phân phối hơi (VDM) của Brooks Instrument là một mô-đun khép kín, hiệu suất cao để phân phối hơi nước khử ion (DI) có độ tinh khiết cực cao với độ chính xác cao. Nó có thiết kế tiết kiệm điện năng cho phép tạo ra hơi có độ tinh khiết cực cao ở nhiệt độ thấp. VDM sử dụng kỹ thuật phân phối hơi đã được kiểm chứng và kết hợp với điều khiển kỹ thuật số tiên tiến và các tính năng chẩn đoán tích hợp trong một thiết bị nhỏ gọn, tiện lợi.

Được thiết kế cho quy trình thụ động hóa khắc kim loại dạng trụ hoặc dải tiên tiến, VDM mang lại độ chính xác được cải thiện, tốc độ dòng chảy cao hơn, thang đo điều khiển rộng hơn và tiêu thụ điện năng thấp hơn so với hệ thống bay hơi nhanh. Dựa trên các kỹ thuật đo lưu lượng khối lượng nhiệt đã được chứng minh, VDM tạo ra hơi ở trạng thái hơi không quá nóng, làm giảm tác động tích cực của nước khử ion, để cải thiện độ tin cậy và hoạt động sạch hơn.

ỨNG DỤNG CHÍNH

• Quá trình ăn mòn post-metal trong quá trình sản xuất chip bán dẫn silicon
• Quá trình ăn mòn strip-metal trong quá trình sản xuất chip bán dẫn silicon
• Tạo ẩm độ tinh khiết cực cao trong môi trường cận khí quyển

TÍNH NĂNG CHÍNH

• Thang đo : 3 slpm (DIW vapor)
• Đo hơi nước trực tiếp với độ chính xác lưu lượng cực kỳ cao
• Kết nối trực tiếp với nguồn cấp nước khử ion trong nhà
• Hoạt động ở nhiệt độ thấp hơn (nhiệt độ không quá nóng)
• Thiết kế tối ưu để xả và thoát nước
• Kết nối giao tiếp  kỹ thuật số EtherCAT
• Hệ giao tiếp đồ họa BEST (Brooks Expert Support Tool)

THÔNG TIN SẢN PHẨM

• Phân phối hơi cho thiết bị Plasma etch và thiết bị dải quang

• Ứng dụng hơi nước UHP DI
• Chỉ các buồng xử lý khí quyển dưới
• Loại sản phẩm: Mô-đun phân phối hơi nước DI
• Phân phối hơi DIW có độ tinh khiết cao
• Độ chính xác dòng chảy cao nhất
• Thiết kế nhỏ gọn
• Công nghệ kỹ thuật số EtherCAT
• Giao diện người dùng nâng cao

• Phương pháp hóa hơi: Hóa hơi
• Lưu chất : Nước DI

• Công suất hơi tối đa: 3000 sccm (Nước DI)
• Áp suất tối đa: 200 Torr

DÒNG SẢN PHẨM: Brook VDM300

The Vapor Delivery Module (VDM) from Brooks Instrument is a high-performance, self-contained module for the highly accurate delivery of ultra-high purity deionized (DI) water vapor. It features a power efficient design that enables low temperature, ultra-high purity vapor generation. It utilizes a proven vapor delivery technique and combines it with advanced digital control and integrated diagnostic features in a small, convenient package.

Designed for advanced strip and post metal etch passivation processes, the VDM delivers improved accuracy, higher flow rates, wider control range and lower power consumption compared to flash evaporation systems. Based on proven thermal mass flow measurement techniques, the VDM produces vapor in a non-super-heated vapor state, reducing the aggressive effects of deionized water, for improved reliability and cleaner operation.

KEY APPLICATIONS

• Silicon semiconductor post-metal etch process
• Silicon semiconductor metal strip process
• Ultra-high purity humidification in sub-atmospheric environments

FEATURES

• Flow range: 3 slpm (DIW vapor)
• Direct water vapor measurement with superior flow accuracy
• Connects directly to the house deionized water supply
• Operates at lower temperatures (non-superheated state)
• Optimized design for flushing and draining
• EtherCAT digital communications
• Brooks Expert Support Tool (BEST) graphical user interface

PRODUCT INFORMATION

• Plasma etch and photoresist strip equipment vapor delivery
• UHP DI water vapor applications
• Sub atmospheric process chambers only
• Product Type : DI Water Vapor Delivery Module
• Differentiator:
  • High Purity DIW Vapor Delivery
  • Highest Flow Accuracy
  • Compact Design
  • EtherCAT Digital Communications
  • Enhance User Interface
• Vaporization Method : Vapor Draw
• Fluid Type: DI Water
• Max Vapor Capacity: 3000 sccm (DI Water)
• Max Pressure :200 Torr

PRODUCT SERIES: Brook VDM300

Brooks Instruments Vietnam - Đại lý Brooks Instruments Vietnam - ANS Vietnam